Source data from STEM-EDX elemental line-profile (normalized) measurements shown in Figs. 4d–f.

Quartz/Py(9 nm)/AlOx(5 nm) (Fig. 4d)

Pos.(nm) Si-KA	O-K	Al-K	Fe-KA	Ni-KA
0.000	1.222	0.772	0.013	0.000	0.000
0.068	0.925	0.768	0.010	0.000	0.000
0.137	0.808	0.758	0.008	0.000	0.000
0.205	0.928	0.755	0.004	0.000	0.000
0.274	0.974	0.763	0.008	0.001	0.000
0.342	0.977	0.745	0.009	0.004	0.000
0.411	0.946	0.824	0.014	0.006	0.000
0.479	1.046	0.829	0.012	0.004	0.000
0.548	0.993	0.781	0.017	0.001	0.000
0.616	0.933	0.706	0.020	0.000	0.000
0.685	0.913	0.669	0.013	0.000	0.011
0.753	0.946	0.666	0.007	0.000	0.000
0.822	1.008	0.646	0.004	0.000	0.000
0.890	1.056	0.664	0.008	0.001	0.000
0.959	1.050	0.691	0.010	0.004	0.000
1.027	0.954	0.698	0.010	0.006	0.000
1.096	0.959	0.717	0.008	0.004	0.000
1.164	0.940	0.813	0.004	0.001	0.000
1.233	0.944	0.740	0.009	0.000	0.000
1.301	1.034	0.624	0.004	0.001	0.000
1.370	1.069	0.605	0.008	0.004	0.000
1.438	1.027	0.753	0.007	0.005	0.000
1.507	0.974	0.782	0.017	0.008	0.000
1.575	1.044	0.758	0.025	0.010	0.000
1.644	1.041	0.668	0.019	0.011	0.000
1.712	0.971	0.636	0.010	0.003	0.000
1.781	0.855	0.634	0.007	0.001	0.000
1.849	0.838	0.744	0.015	0.000	0.000
1.918	0.962	0.825	0.009	0.001	0.000
1.986	1.020	0.848	0.007	0.004	0.000
2.055	0.967	0.767	0.010	0.005	0.000
2.123	1.005	0.728	0.010	0.009	0.000
2.192	1.043	0.714	0.007	0.004	0.000
2.260	0.993	0.749	0.009	0.009	0.000
2.329	0.906	0.751	0.014	0.005	0.000
2.397	0.990	0.753	0.014	0.004	0.000
2.466	1.070	0.792	0.009	0.001	0.000
2.534	1.038	0.881	0.006	0.001	0.000
2.603	0.940	0.829	0.012	0.004	0.000
2.671	0.811	0.739	0.025	0.006	0.000
2.740	0.827	0.711	0.024	0.004	0.000
2.808	0.859	0.712	0.016	0.001	0.000
2.877	0.899	0.710	0.013	0.000	0.000
2.945	0.888	0.681	0.009	0.000	0.000
3.014	0.920	0.732	0.008	0.001	0.000
3.082	0.992	0.725	0.005	0.004	0.000
3.151	0.924	0.729	0.004	0.006	0.000
3.219	0.969	0.690	0.001	0.004	0.000
3.288	0.918	0.726	0.000	0.001	0.000
3.356	0.885	0.676	0.001	0.000	0.000
3.425	0.789	0.677	0.003	0.001	0.000
3.493	0.853	0.665	0.011	0.004	0.000
3.562	0.881	0.745	0.010	0.006	0.000
3.630	0.920	0.683	0.007	0.003	0.000
3.699	0.980	0.714	0.010	0.002	0.000
3.767	0.973	0.707	0.010	0.011	0.000
3.836	0.900	0.743	0.008	0.011	0.000
3.904	0.927	0.630	0.004	0.003	0.000
3.973	1.013	0.649	0.008	0.002	0.000
4.041	0.990	0.715	0.010	0.003	0.000
4.110	0.931	0.793	0.010	0.011	0.000
4.178	0.883	0.779	0.008	0.011	0.000
4.247	0.973	0.796	0.004	0.003	0.000
4.315	0.977	0.793	0.008	0.002	0.000
4.384	1.014	0.712	0.010	0.004	0.000
4.452	0.931	0.711	0.010	0.006	0.000
4.521	0.954	0.684	0.008	0.003	0.000
4.589	0.968	0.760	0.005	0.003	0.000
4.658	1.007	0.731	0.004	0.003	0.000
4.726	0.889	0.787	0.002	0.018	0.000
4.795	0.860	0.775	0.003	0.018	0.000
4.863	1.031	0.800	0.009	0.012	0.000
4.932	1.168	0.789	0.019	0.000	0.000
5.000	1.143	0.806	0.020	0.011	0.000
5.068	1.034	0.758	0.014	0.010	0.000
5.137	1.000	0.682	0.001	0.008	0.000
5.205	0.950	0.684	0.002	0.003	0.000
5.274	0.957	0.746	0.010	0.012	0.000
5.342	0.969	0.783	0.013	0.015	0.000
5.411	0.919	0.733	0.016	0.019	0.000
5.479	0.896	0.675	0.024	0.013	0.000
5.548	0.818	0.676	0.024	0.010	0.000
5.616	0.864	0.698	0.017	0.003	0.000
5.685	0.912	0.756	0.006	0.001	0.000
5.753	1.038	0.810	0.010	0.001	0.000
5.822	0.960	0.785	0.019	0.004	0.000
5.890	0.957	0.703	0.026	0.006	0.000
5.959	0.965	0.665	0.012	0.004	0.000
6.027	1.049	0.733	0.007	0.001	0.000
6.096	0.957	0.725	0.004	0.001	0.000
6.164	0.946	0.701	0.008	0.004	0.000
6.233	0.920	0.704	0.009	0.005	0.000
6.301	0.977	0.773	0.014	0.009	0.000
6.370	0.961	0.765	0.013	0.004	0.000
6.438	0.974	0.758	0.013	0.009	0.000
6.507	0.868	0.729	0.013	0.004	0.000
6.575	0.780	0.709	0.013	0.009	0.000
6.644	0.796	0.671	0.012	0.004	0.000
6.712	0.926	0.663	0.017	0.009	0.000
6.781	0.946	0.743	0.020	0.005	0.000
6.849	1.014	0.761	0.014	0.003	0.000
6.918	1.031	0.798	0.001	0.002	0.000
6.986	1.029	0.782	0.003	0.011	0.000
7.055	0.932	0.783	0.005	0.011	0.000
7.123	0.963	0.744	0.008	0.002	0.000
7.192	0.999	0.774	0.009	0.003	0.000
7.260	1.035	0.871	0.014	0.005	0.000
7.329	0.993	0.789	0.013	0.008	0.000
7.397	0.862	0.766	0.014	0.009	0.000
7.466	0.832	0.698	0.009	0.015	0.000
7.534	0.876	0.736	0.006	0.010	0.000
7.603	1.011	0.726	0.013	0.003	0.011
7.671	0.963	0.856	0.020	0.001	0.000
7.740	1.057	0.881	0.017	0.001	0.000
7.808	1.022	0.862	0.013	0.002	0.000
7.877	0.981	0.723	0.009	0.014	0.000
7.945	0.902	0.638	0.007	0.022	0.000
8.014	0.951	0.676	0.009	0.014	0.000
8.082	0.887	0.751	0.014	0.002	0.000
8.151	0.857	0.801	0.013	0.002	0.000
8.219	0.861	0.773	0.013	0.004	0.000
8.288	0.890	0.791	0.013	0.003	0.000
8.356	0.935	0.802	0.013	0.018	0.000
8.425	0.948	0.845	0.013	0.018	0.000
8.493	0.866	0.869	0.013	0.012	0.000
8.562	0.836	0.838	0.013	0.001	0.011
8.630	0.978	0.805	0.013	0.006	0.000
8.699	1.058	0.790	0.013	0.003	0.011
8.767	0.995	0.776	0.013	0.003	0.000
8.836	0.887	0.759	0.013	0.005	0.000
8.904	0.917	0.770	0.013	0.009	0.000
8.973	0.961	0.767	0.014	0.005	0.000
9.041	0.933	0.721	0.009	0.003	0.011
9.110	0.924	0.723	0.008	0.003	0.011
9.178	1.015	0.784	0.004	0.005	0.011
9.247	1.023	0.754	0.009	0.009	0.011
9.315	0.967	0.729	0.004	0.004	0.011
9.384	0.931	0.741	0.009	0.006	0.000
9.452	0.926	0.745	0.005	0.019	0.022
9.521	0.886	0.736	0.003	0.022	0.022
9.589	0.937	0.770	0.002	0.014	0.011
9.658	0.901	0.813	0.010	0.012	0.022
9.726	0.928	0.808	0.015	0.014	0.022
9.795	0.943	0.794	0.009	0.019	0.034
9.863	1.049	0.784	0.007	0.023	0.045
9.932	1.103	0.739	0.007	0.034	0.034
10.000	1.120	0.811	0.017	0.022	0.045
10.068	1.039	0.795	0.024	0.012	0.056
10.137	0.953	0.769	0.024	0.026	0.067
10.205	1.007	0.696	0.016	0.049	0.101
10.274	0.989	0.694	0.012	0.051	0.067
10.342	0.971	0.637	0.013	0.057	0.101
10.411	0.933	0.623	0.013	0.089	0.079
10.479	0.956	0.692	0.013	0.122	0.090
10.548	0.973	0.747	0.012	0.105	0.124
10.616	1.045	0.750	0.017	0.095	0.157
10.685	1.107	0.693	0.019	0.112	0.146
10.753	1.112	0.654	0.016	0.154	0.169
10.822	1.101	0.679	0.015	0.162	0.157
10.890	1.091	0.697	0.018	0.169	0.236
10.959	1.047	0.672	0.045	0.168	0.213
11.027	0.976	0.654	0.052	0.265	0.236
11.096	1.042	0.583	0.039	0.362	0.258
11.164	1.161	0.508	0.014	0.501	0.281
11.233	1.022	0.446	0.027	0.456	0.315
11.301	0.871	0.436	0.029	0.409	0.360
11.370	0.801	0.432	0.022	0.433	0.427
11.438	0.869	0.343	0.026	0.504	0.438
11.507	0.764	0.366	0.054	0.553	0.494
11.575	0.811	0.372	0.046	0.560	0.562
11.644	0.806	0.409	0.043	0.628	0.584
11.712	0.814	0.387	0.042	0.619	0.618
11.781	0.730	0.399	0.043	0.719	0.618
11.849	0.733	0.365	0.038	0.823	0.629
11.918	0.656	0.297	0.049	0.906	0.685
11.986	0.544	0.292	0.060	0.757	0.753
12.055	0.472	0.313	0.069	0.710	0.910
12.123	0.471	0.315	0.083	0.746	0.742
12.192	0.466	0.335	0.059	0.823	0.843
12.260	0.453	0.370	0.027	0.806	0.809
12.329	0.398	0.352	0.013	0.871	0.831
12.397	0.399	0.269	0.049	0.825	0.787
12.466	0.380	0.259	0.055	0.855	0.798
12.534	0.364	0.329	0.055	0.922	0.978
12.603	0.275	0.338	0.037	0.962	0.989
12.671	0.225	0.332	0.064	0.889	0.944
12.740	0.222	0.339	0.061	0.991	0.955
12.808	0.223	0.320	0.050	1.013	1.000
12.877	0.232	0.313	0.037	0.953	0.944
12.945	0.172	0.286	0.059	0.906	0.899
13.014	0.196	0.264	0.060	0.949	0.888
13.082	0.155	0.275	0.059	0.936	1.034
13.151	0.158	0.293	0.050	0.934	0.933
13.219	0.102	0.249	0.062	0.995	1.011
13.288	0.156	0.228	0.058	1.011	0.865
13.356	0.145	0.275	0.055	1.006	0.966
13.425	0.164	0.255	0.029	0.911	1.000
13.493	0.123	0.259	0.034	0.865	1.011
13.562	0.132	0.284	0.066	0.940	0.989
13.630	0.102	0.321	0.082	1.117	1.022
13.699	0.084	0.283	0.070	1.070	1.124
13.767	0.068	0.302	0.047	0.969	1.034
13.836	0.062	0.335	0.037	0.969	1.011
13.904	0.068	0.330	0.047	1.022	1.056
13.973	0.119	0.273	0.056	1.116	0.966
14.041	0.179	0.251	0.039	1.201	1.079
14.110	0.135	0.292	0.033	1.118	1.000
14.178	0.084	0.288	0.055	0.937	0.910
14.247	0.103	0.292	0.044	1.020	1.022
14.315	0.100	0.298	0.036	1.076	1.079
14.384	0.108	0.300	0.047	0.963	0.944
14.452	0.110	0.232	0.051	0.796	0.944
14.521	0.127	0.225	0.039	0.875	0.921
14.589	0.098	0.265	0.040	0.935	1.090
14.658	0.083	0.302	0.043	1.046	1.011
14.726	0.095	0.262	0.041	0.999	1.056
14.795	0.093	0.222	0.051	1.071	0.989
14.863	0.078	0.258	0.043	0.993	0.944
14.932	0.059	0.293	0.044	1.082	1.056
15.000	0.089	0.298	0.047	1.064	0.933
15.068	0.098	0.302	0.068	1.046	1.124
15.137	0.084	0.320	0.062	0.895	1.079
15.205	0.091	0.272	0.066	0.806	1.090
15.274	0.066	0.230	0.052	0.812	1.101
15.342	0.075	0.243	0.049	0.944	1.034
15.411	0.089	0.276	0.053	1.039	1.011
15.479	0.098	0.320	0.050	1.006	1.056
15.548	0.086	0.316	0.046	0.921	1.011
15.616	0.074	0.297	0.034	0.979	1.090
15.685	0.053	0.282	0.038	0.963	1.045
15.753	0.057	0.264	0.031	1.012	0.989
15.822	0.097	0.249	0.047	0.909	1.022
15.890	0.115	0.254	0.060	0.953	0.966
15.959	0.098	0.270	0.058	0.976	0.966
16.027	0.070	0.277	0.052	0.996	0.910
16.096	0.061	0.312	0.057	0.873	0.876
16.164	0.083	0.309	0.067	0.850	0.944
16.233	0.102	0.296	0.043	0.909	0.966
16.301	0.100	0.323	0.030	0.973	0.955
16.370	0.068	0.352	0.026	1.058	0.944
16.438	0.036	0.320	0.032	1.037	0.854
16.507	0.030	0.265	0.025	1.022	0.955
16.575	0.069	0.268	0.023	1.006	1.022
16.644	0.095	0.308	0.038	1.009	1.045
16.712	0.089	0.337	0.044	0.955	1.056
16.781	0.073	0.320	0.067	0.965	0.955
16.849	0.085	0.248	0.064	1.003	0.989
16.918	0.098	0.210	0.045	1.008	0.955
16.986	0.081	0.213	0.034	0.968	0.978
17.055	0.079	0.285	0.055	0.891	1.000
17.123	0.075	0.268	0.059	0.873	0.966
17.192	0.049	0.286	0.022	0.899	1.045
17.260	0.032	0.274	0.033	0.997	0.989
17.329	0.062	0.312	0.052	1.050	0.888
17.397	0.086	0.317	0.068	0.999	0.989
17.466	0.067	0.310	0.060	0.889	0.944
17.534	0.051	0.253	0.062	0.855	0.966
17.603	0.059	0.266	0.056	0.921	0.955
17.671	0.096	0.266	0.069	0.908	0.910
17.740	0.092	0.281	0.080	0.927	0.933
17.808	0.059	0.289	0.072	0.931	0.989
17.877	0.044	0.324	0.047	0.998	0.966
17.945	0.055	0.287	0.049	0.939	0.966
18.014	0.055	0.289	0.054	0.864	0.966
18.082	0.062	0.307	0.056	0.902	0.978
18.151	0.091	0.315	0.055	0.910	0.955
18.219	0.099	0.316	0.058	0.928	0.955
18.288	0.076	0.290	0.058	0.917	0.910
18.356	0.065	0.255	0.045	0.955	0.989
18.425	0.062	0.294	0.051	0.851	0.955
18.493	0.074	0.363	0.049	0.764	0.876
18.562	0.064	0.348	0.050	0.818	0.989
18.630	0.085	0.313	0.046	0.898	0.989
18.699	0.072	0.299	0.079	0.878	0.989
18.767	0.073	0.306	0.073	0.881	0.899
18.836	0.060	0.280	0.057	0.824	1.022
18.904	0.068	0.318	0.032	0.751	0.978
18.973	0.054	0.375	0.055	0.708	0.978
19.041	0.062	0.374	0.062	0.750	0.978
19.110	0.079	0.338	0.098	0.777	0.888
19.178	0.080	0.314	0.110	0.771	0.978
19.247	0.058	0.388	0.096	0.799	0.899
19.315	0.046	0.419	0.049	0.806	0.876
19.384	0.068	0.455	0.059	0.874	0.921
19.452	0.091	0.440	0.098	0.919	0.865
19.521	0.098	0.436	0.115	0.816	0.843
19.589	0.097	0.456	0.106	0.647	0.843
19.658	0.074	0.448	0.099	0.669	0.809
19.726	0.095	0.516	0.108	0.774	0.809
19.795	0.074	0.532	0.104	0.752	0.719
19.863	0.085	0.612	0.111	0.694	0.775
19.932	0.054	0.619	0.122	0.656	0.730
20.000	0.056	0.692	0.125	0.626	0.685
20.068	0.042	0.684	0.116	0.567	0.629
20.137	0.057	0.730	0.142	0.649	0.618
20.205	0.086	0.783	0.188	0.696	0.708
20.274	0.081	0.808	0.177	0.683	0.539
20.342	0.071	0.847	0.159	0.734	0.539
20.411	0.042	0.853	0.145	0.799	0.562
20.479	0.036	0.907	0.161	0.819	0.562
20.548	0.030	0.881	0.180	0.659	0.506
20.616	0.028	0.886	0.245	0.556	0.506
20.685	0.057	0.802	0.240	0.550	0.461
20.753	0.074	0.863	0.252	0.578	0.472
20.822	0.073	0.959	0.289	0.578	0.438
20.890	0.050	0.990	0.328	0.623	0.382
20.959	0.045	0.984	0.320	0.675	0.404
21.027	0.038	0.994	0.305	0.601	0.416
21.096	0.046	1.029	0.319	0.496	0.393
21.164	0.046	0.941	0.311	0.505	0.393
21.233	0.031	0.904	0.374	0.576	0.382
21.301	0.041	0.897	0.392	0.583	0.315
21.370	0.060	0.904	0.396	0.545	0.427
21.438	0.069	0.857	0.332	0.502	0.348
21.507	0.050	0.960	0.329	0.566	0.281
21.575	0.040	1.017	0.394	0.647	0.236
21.644	0.028	1.043	0.506	0.655	0.270
21.712	0.037	1.037	0.537	0.513	0.247
21.781	0.045	1.119	0.525	0.520	0.213
21.849	0.037	1.065	0.538	0.546	0.247
21.918	0.029	0.975	0.557	0.547	0.258
21.986	0.038	0.903	0.560	0.427	0.213
22.055	0.041	0.935	0.569	0.493	0.202
22.123	0.030	0.982	0.588	0.464	0.191
22.192	0.032	0.955	0.548	0.452	0.169
22.260	0.032	0.958	0.562	0.409	0.146
22.329	0.024	1.005	0.600	0.475	0.180
22.397	0.031	1.051	0.730	0.466	0.135
22.466	0.046	1.000	0.729	0.391	0.135
22.534	0.031	1.003	0.780	0.314	0.112
22.603	0.001	1.030	0.814	0.254	0.101
22.671	0.014	1.022	0.873	0.290	0.135
22.740	0.026	0.973	0.817	0.317	0.101
22.808	0.028	0.976	0.824	0.304	0.112
22.877	0.024	1.090	0.847	0.266	0.112
22.945	0.028	1.058	0.845	0.250	0.090
23.014	0.024	0.985	0.862	0.256	0.112
23.082	0.015	0.907	0.849	0.211	0.090
23.151	0.019	0.984	0.981	0.216	0.067
23.219	0.023	1.034	1.015	0.253	0.067
23.288	0.041	1.078	1.036	0.258	0.067
23.356	0.036	0.954	0.957	0.217	0.056
23.425	0.030	0.899	1.076	0.165	0.056
23.493	0.025	0.965	0.990	0.159	0.067
23.562	0.025	1.036	0.983	0.147	0.056
23.630	0.021	1.017	0.971	0.167	0.034
23.699	0.029	1.020	0.981	0.151	0.045
23.767	0.044	1.082	0.813	0.141	0.045
23.836	0.040	1.036	0.861	0.159	0.022
23.904	0.031	1.022	1.001	0.137	0.045
23.973	0.026	1.018	1.138	0.103	0.034
24.041	0.033	1.021	1.154	0.112	0.022
24.110	0.042	1.030	1.069	0.119	0.011
24.178	0.043	1.090	0.997	0.122	0.034
24.247	0.043	1.091	0.991	0.105	0.022
24.315	0.031	0.989	0.963	0.106	0.022
24.384	0.014	0.943	1.063	0.070	0.022
24.452	0.001	0.906	1.083	0.082	0.022
24.521	0.018	0.917	1.071	0.086	0.000
24.589	0.041	0.926	0.927	0.076	0.011
24.658	0.053	0.986	0.966	0.058	0.011
24.726	0.050	0.972	1.014	0.051	0.022
24.795	0.046	0.921	1.117	0.050	0.011
24.863	0.042	0.872	1.098	0.039	0.000
24.932	0.030	0.836	1.021	0.028	0.000
25.000	0.019	0.882	0.997	0.023	0.000
25.068	0.010	0.893	0.999	0.035	0.011
25.137	0.012	0.922	0.977	0.040	0.000
25.205	0.011	0.933	1.029	0.033	0.011
25.274	0.017	0.934	1.076	0.006	0.011
25.342	0.018	0.889	1.002	0.019	0.011
25.411	0.016	0.771	0.863	0.026	0.000
25.479	0.014	0.742	0.824	0.030	0.000
25.548	0.022	0.756	0.783	0.022	0.011
25.616	0.027	0.837	0.832	0.045	0.000
25.685	0.022	0.798	0.871	0.033	0.011
25.753	0.016	0.776	0.830	0.028	0.000
25.822	0.012	0.732	0.704	0.011	0.000
25.890	0.007	0.745	0.676	0.024	0.000
25.959	0.010	0.680	0.662	0.018	0.000
26.027	0.018	0.641	0.588	0.050	0.000
26.096	0.022	0.544	0.554	0.052	0.011
26.164	0.023	0.517	0.475	0.036	0.011
26.233	0.029	0.436	0.414	0.004	0.000
26.301	0.024	0.450	0.370	0.011	0.011
26.370	0.002	0.466	0.318	0.024	0.011
26.438	0.007	0.437	0.219	0.029	0.011
26.507	0.030	0.315	0.192	0.019	0.011
26.575	0.032	0.259	0.198	0.006	0.011
26.644	0.026	0.248	0.177	0.001	0.011
26.712	0.026	0.231	0.165	0.009	0.000
26.781	0.027	0.221	0.146	0.019	0.000
26.849	0.014	0.224	0.121	0.018	0.000
26.918	0.011	0.201	0.093	0.022	0.011
26.986	0.012	0.169	0.070	0.017	0.011
27.055	0.012	0.151	0.068	0.022	0.000
27.123	0.011	0.137	0.060	0.017	0.000
27.192	0.017	0.137	0.045	0.023	0.000
27.260	0.019	0.130	0.039	0.014	0.000
27.329	0.011	0.139	0.045	0.011	0.000
27.397	0.010	0.126	0.035	0.009	0.000
27.466	0.014	0.124	0.017	0.011	0.000
27.534	0.018	0.116	0.016	0.002	0.011
27.603	0.009	0.105	0.026	0.000	0.000
27.671	0.021	0.087	0.024	0.020	0.011
27.740	0.024	0.081	0.022	0.022	0.011
27.808	0.019	0.113	0.012	0.017	0.000
27.877	0.018	0.120	0.009	0.002	0.000
27.945	0.029	0.116	0.008	0.008	0.000
28.014	0.028	0.129	0.004	0.010	0.000
28.082	0.011	0.143	0.008	0.009	0.000
28.151	0.001	0.110	0.010	0.011	0.011
28.219	0.002	0.078	0.011	0.015	0.000
28.288	0.010	0.064	0.003	0.020	0.000
28.356	0.008	0.064	0.003	0.009	0.011
28.425	0.011	0.062	0.008	0.003	0.000
28.493	0.014	0.076	0.017	0.003	0.000
28.562	0.018	0.079	0.015	0.008	0.011
28.630	0.010	0.079	0.002	0.017	0.000
28.699	0.017	0.065	0.002	0.014	0.000
28.767	0.019	0.067	0.003	0.007	0.000
28.836	0.012	0.065	0.011	0.005	0.011
28.904	0.005	0.057	0.010	0.004	0.000
28.973	0.009	0.052	0.007	0.001	0.000
29.041	0.009	0.063	0.009	0.000	0.000
29.110	0.006	0.079	0.014	0.000	0.000
29.178	0.007	0.082	0.013	0.000	0.000
29.247	0.018	0.088	0.014	0.000	0.011
29.315	0.018	0.068	0.009	0.000	0.000
29.384	0.018	0.041	0.007	0.000	0.000
29.452	0.008	0.033	0.010	0.000	0.000
29.521	0.003	0.050	0.011	0.002	0.000
29.589	0.001	0.060	0.003	0.008	0.000
29.658	0.003	0.072	0.002	0.017	0.000
29.726	0.013	0.063	0.004	0.013	0.000
29.795	0.017	0.068	0.004	0.011	0.000
29.863	0.016	0.044	0.013	0.009	0.000
29.932	0.004	0.033	0.012	0.017	0.000
30.000	0.022	0.031	0.008	0.015	0.000
30.068	0.024	0.051	0.002	0.015	0.000
30.137	0.021	0.051	0.005	0.002	0.000
30.205	0.009	0.046	0.009	0.001	0.000
30.274	0.016	0.048	0.005	0.001	0.011
30.342	0.024	0.043	0.004	0.003	0.000
30.411	0.016	0.040	0.002	0.011	0.000
30.479	0.018	0.046	0.004	0.011	0.000
30.548	0.018	0.052	0.005	0.007	0.000
30.616	0.019	0.061	0.003	0.003	0.000

Si/SiO2(100 nm)/AlOx(5 nm)/Py(9 nm)/AlOx(5 nm) (Fig. 4e)

Pos.(nm) Si-KA	O-K	Al-K	Fe-KA	Ni-KA
0.000	1.049	0.740	0.011	0.013	0.000
0.068	0.989	0.696	0.023	0.012	0.000
0.137	0.956	0.690	0.026	0.009	0.000
0.205	0.967	0.736	0.017	0.003	0.000
0.274	0.976	0.780	0.005	0.001	0.000
0.342	0.951	0.791	0.000	0.000	0.000
0.411	0.926	0.752	0.012	0.000	0.000
0.479	0.919	0.748	0.017	0.001	0.000
0.548	0.933	0.837	0.018	0.003	0.000
0.616	0.967	0.759	0.020	0.010	0.000
0.685	0.955	0.754	0.020	0.009	0.000
0.753	0.941	0.711	0.019	0.007	0.000
0.822	0.901	0.745	0.012	0.005	0.000
0.890	0.897	0.743	0.009	0.003	0.000
0.959	0.945	0.808	0.010	0.003	0.000
1.027	0.976	0.793	0.017	0.005	0.000
1.096	1.014	0.752	0.020	0.008	0.000
1.164	1.030	0.745	0.011	0.005	0.000
1.233	1.051	0.773	0.014	0.003	0.000
1.301	0.980	0.756	0.012	0.003	0.000
1.370	0.975	0.796	0.016	0.006	0.000
1.438	0.986	0.756	0.010	0.004	0.000
1.507	1.008	0.789	0.010	0.002	0.000
1.575	1.016	0.760	0.015	0.003	0.000
1.644	1.069	0.806	0.017	0.009	0.000
1.712	1.039	0.724	0.014	0.014	0.000
1.781	0.963	0.675	0.014	0.008	0.000
1.849	0.965	0.649	0.017	0.007	0.000
1.918	0.990	0.727	0.014	0.005	0.000
1.986	0.976	0.766	0.015	0.003	0.000
2.055	0.859	0.749	0.012	0.003	0.000
2.123	0.865	0.731	0.013	0.006	0.000
2.192	0.944	0.763	0.017	0.004	0.000
2.260	1.048	0.788	0.019	0.001	0.000
2.329	1.096	0.756	0.005	0.000	0.000
2.397	1.065	0.686	0.002	0.001	0.000
2.466	0.994	0.664	0.004	0.003	0.000
2.534	0.886	0.702	0.011	0.010	0.000
2.603	0.853	0.783	0.013	0.009	0.000
2.671	0.927	0.763	0.015	0.007	0.000
2.740	1.075	0.695	0.013	0.004	0.000
2.808	1.121	0.746	0.021	0.008	0.000
2.877	1.069	0.771	0.021	0.005	0.000
2.945	1.057	0.751	0.014	0.003	0.000
3.014	1.058	0.714	0.011	0.002	0.000
3.082	1.037	0.802	0.008	0.009	0.000
3.151	1.025	0.817	0.002	0.014	0.000
3.219	1.022	0.841	0.002	0.008	0.000
3.288	0.975	0.797	0.008	0.007	0.000
3.356	0.954	0.793	0.012	0.004	0.000
3.425	0.929	0.715	0.012	0.008	0.000
3.493	0.924	0.720	0.007	0.004	0.000
3.562	0.960	0.729	0.005	0.008	0.000
3.630	0.996	0.774	0.012	0.004	0.000
3.699	0.989	0.757	0.014	0.008	0.000
3.767	0.969	0.759	0.010	0.004	0.000
3.836	0.962	0.754	0.007	0.007	0.000
3.904	1.019	0.742	0.008	0.009	0.000
3.973	0.997	0.718	0.006	0.009	0.000
4.041	0.932	0.778	0.006	0.006	0.000
4.110	0.890	0.831	0.020	0.008	0.000
4.178	0.941	0.831	0.022	0.014	0.000
4.247	0.996	0.752	0.020	0.008	0.000
4.315	0.969	0.759	0.006	0.006	0.000
4.384	0.923	0.745	0.005	0.007	0.000
4.452	0.881	0.762	0.011	0.018	0.000
4.521	0.878	0.754	0.017	0.015	0.000
4.589	0.917	0.763	0.019	0.006	0.000
4.658	0.942	0.714	0.017	0.001	0.000
4.726	1.000	0.755	0.010	0.010	0.000
4.795	0.977	0.782	0.009	0.010	0.000
4.863	0.980	0.819	0.012	0.002	0.000
4.932	0.943	0.790	0.020	0.002	0.000
5.000	0.906	0.759	0.016	0.010	0.000
5.068	0.928	0.725	0.015	0.009	0.000
5.137	0.946	0.763	0.009	0.007	0.000
5.205	0.985	0.742	0.014	0.004	0.000
5.274	0.898	0.744	0.020	0.007	0.000
5.342	0.888	0.679	0.024	0.008	0.000
5.411	0.916	0.708	0.022	0.014	0.000
5.479	0.994	0.750	0.026	0.008	0.000
5.548	0.964	0.861	0.031	0.006	0.000
5.616	0.881	0.794	0.035	0.009	0.000
5.685	0.857	0.747	0.036	0.009	0.000
5.753	0.804	0.763	0.026	0.005	0.000
5.822	0.785	0.811	0.023	0.010	0.000
5.890	0.835	0.809	0.026	0.028	0.000
5.959	0.906	0.751	0.038	0.024	0.001
6.027	0.868	0.788	0.025	0.009	0.004
6.096	0.892	0.782	0.027	0.000	0.004
6.164	0.938	0.776	0.031	0.009	0.007
6.233	1.004	0.763	0.040	0.013	0.003
6.301	0.946	0.739	0.050	0.012	0.007
6.370	0.962	0.704	0.074	0.013	0.007
6.438	0.884	0.675	0.075	0.008	0.013
6.507	0.864	0.750	0.068	0.006	0.008
6.575	0.873	0.796	0.074	0.008	0.003
6.644	0.883	0.785	0.089	0.012	0.001
6.712	0.906	0.744	0.114	0.016	0.000
6.781	0.914	0.732	0.130	0.018	0.000
6.849	0.911	0.765	0.139	0.016	0.000
6.918	0.888	0.783	0.130	0.011	0.000
6.986	0.901	0.820	0.120	0.012	0.000
7.055	0.851	0.849	0.133	0.013	0.001
7.123	0.779	0.801	0.163	0.006	0.004
7.192	0.812	0.766	0.186	0.013	0.004
7.260	0.897	0.785	0.186	0.023	0.007
7.329	0.857	0.822	0.206	0.028	0.004
7.397	0.803	0.817	0.215	0.010	0.004
7.466	0.770	0.792	0.235	0.005	0.002
7.534	0.830	0.779	0.275	0.006	0.004
7.603	0.777	0.759	0.311	0.022	0.005
7.671	0.702	0.776	0.319	0.018	0.003
7.740	0.673	0.842	0.297	0.019	0.002
7.808	0.724	0.893	0.302	0.004	0.009
7.877	0.750	0.906	0.313	0.021	0.009
7.945	0.767	0.873	0.392	0.031	0.003
8.014	0.687	0.864	0.406	0.041	0.001
8.082	0.590	0.871	0.425	0.022	0.000
8.151	0.514	0.922	0.476	0.016	0.001
8.219	0.550	0.927	0.558	0.025	0.003
8.288	0.554	0.870	0.562	0.028	0.009
8.356	0.509	0.833	0.576	0.015	0.009
8.425	0.449	0.843	0.611	0.023	0.002
8.493	0.407	0.871	0.643	0.047	0.003
8.562	0.437	0.907	0.670	0.046	0.004
8.630	0.410	0.912	0.750	0.021	0.007
8.699	0.393	0.900	0.778	0.005	0.003
8.767	0.363	0.901	0.821	0.006	0.007
8.836	0.326	0.927	0.794	0.008	0.007
8.904	0.291	0.882	0.814	0.013	0.012
8.973	0.295	0.860	0.828	0.012	0.011
9.041	0.291	0.886	0.889	0.008	0.011
9.110	0.244	0.944	0.881	0.026	0.011
9.178	0.216	0.914	0.923	0.042	0.012
9.247	0.218	0.875	0.910	0.039	0.008
9.315	0.238	0.888	0.921	0.038	0.002
9.384	0.205	0.945	0.916	0.056	0.002
9.452	0.190	0.985	0.912	0.067	0.008
9.521	0.160	0.998	0.894	0.037	0.012
9.589	0.199	0.975	0.968	0.029	0.012
9.658	0.195	0.930	1.025	0.036	0.007
9.726	0.179	0.914	0.972	0.048	0.006
9.795	0.131	0.933	0.981	0.039	0.007
9.863	0.122	0.956	0.995	0.035	0.012
9.932	0.141	0.939	1.028	0.037	0.011
10.000	0.150	0.907	0.988	0.031	0.011
10.068	0.132	0.920	0.961	0.036	0.011
10.137	0.137	0.929	0.897	0.025	0.011
10.205	0.157	0.916	0.940	0.048	0.010
10.274	0.171	0.934	0.980	0.041	0.014
10.342	0.140	0.966	0.942	0.043	0.020
10.411	0.117	0.952	0.923	0.021	0.019
10.479	0.127	0.964	0.973	0.048	0.016
10.548	0.152	0.958	1.026	0.036	0.019
10.616	0.155	0.942	0.937	0.044	0.018
10.685	0.124	0.964	0.862	0.044	0.020
10.753	0.100	0.969	0.881	0.066	0.024
10.822	0.103	0.901	0.990	0.060	0.024
10.890	0.110	0.836	1.055	0.063	0.012
10.959	0.106	0.906	1.028	0.067	0.012
11.027	0.102	0.992	0.956	0.070	0.022
11.096	0.086	1.022	0.926	0.072	0.031
11.164	0.110	0.970	0.931	0.066	0.034
11.233	0.141	1.002	0.948	0.051	0.029
11.301	0.144	0.931	0.948	0.041	0.026
11.370	0.073	0.854	0.944	0.048	0.032
11.438	0.071	0.825	0.999	0.056	0.043
11.507	0.098	0.879	1.070	0.060	0.040
11.575	0.129	0.870	1.091	0.073	0.041
11.644	0.144	0.832	0.975	0.084	0.046
11.712	0.155	0.862	0.932	0.088	0.061
11.781	0.128	0.870	0.923	0.103	0.070
11.849	0.099	0.879	0.930	0.116	0.093
11.918	0.084	0.867	0.935	0.137	0.113
11.986	0.083	0.872	0.941	0.197	0.138
12.055	0.086	0.820	0.907	0.260	0.140
12.123	0.107	0.751	0.848	0.292	0.141
12.192	0.107	0.724	0.895	0.299	0.148
12.260	0.118	0.726	0.885	0.299	0.191
12.329	0.115	0.700	0.834	0.334	0.227
12.397	0.119	0.706	0.686	0.374	0.261
12.466	0.091	0.707	0.662	0.436	0.288
12.534	0.091	0.632	0.639	0.532	0.312
12.603	0.107	0.569	0.672	0.668	0.329
12.671	0.128	0.538	0.593	0.716	0.381
12.740	0.131	0.500	0.539	0.715	0.430
12.808	0.145	0.415	0.459	0.700	0.508
12.877	0.132	0.397	0.406	0.782	0.530
12.945	0.154	0.419	0.336	0.817	0.578
13.014	0.173	0.373	0.353	0.917	0.604
13.082	0.174	0.322	0.324	0.966	0.684
13.151	0.161	0.297	0.266	0.947	0.732
13.219	0.207	0.295	0.228	0.909	0.761
13.288	0.229	0.267	0.242	0.962	0.760
13.356	0.197	0.259	0.208	0.977	0.812
13.425	0.185	0.277	0.172	0.952	0.860
13.493	0.202	0.291	0.170	0.953	0.900
13.562	0.206	0.282	0.194	0.910	0.912
13.630	0.162	0.251	0.191	0.892	0.915
13.699	0.152	0.233	0.158	0.870	0.917
13.767	0.148	0.237	0.134	0.896	0.929
13.836	0.162	0.228	0.122	0.823	0.940
13.904	0.180	0.224	0.117	0.902	0.952
13.973	0.192	0.226	0.122	0.905	0.960
14.041	0.190	0.206	0.119	0.933	0.962
14.110	0.201	0.181	0.091	0.935	0.957
14.178	0.226	0.199	0.064	1.043	1.007
14.247	0.203	0.230	0.072	1.021	1.012
14.315	0.175	0.217	0.101	0.920	0.979
14.384	0.170	0.203	0.104	0.843	0.956
14.452	0.200	0.206	0.093	0.927	0.988
14.521	0.205	0.230	0.051	0.954	1.013
14.589	0.215	0.211	0.071	0.974	0.996
14.658	0.185	0.203	0.089	0.930	1.002
14.726	0.197	0.192	0.102	0.923	1.007
14.795	0.164	0.228	0.075	0.900	0.993
14.863	0.164	0.225	0.061	0.854	0.992
14.932	0.154	0.205	0.059	0.882	0.961
15.000	0.204	0.170	0.063	0.926	0.962
15.068	0.208	0.189	0.055	0.991	0.966
15.137	0.198	0.218	0.057	0.966	1.002
15.205	0.187	0.229	0.068	0.967	0.985
15.274	0.211	0.215	0.071	0.951	1.001
15.342	0.215	0.206	0.060	0.937	0.986
15.411	0.199	0.225	0.051	0.943	0.997
15.479	0.184	0.229	0.055	0.872	1.022
15.548	0.214	0.224	0.059	0.841	1.006
15.616	0.230	0.222	0.060	0.863	0.993
15.685	0.196	0.231	0.041	0.923	0.997
15.753	0.166	0.229	0.052	0.969	1.011
15.822	0.181	0.212	0.053	0.952	1.002
15.890	0.183	0.209	0.056	0.892	1.026
15.959	0.186	0.207	0.048	0.869	1.014
16.027	0.182	0.218	0.053	1.012	0.993
16.096	0.204	0.219	0.058	1.023	0.991
16.164	0.206	0.208	0.069	1.005	1.017
16.233	0.209	0.182	0.069	0.945	1.042
16.301	0.163	0.194	0.044	1.015	1.042
16.370	0.158	0.201	0.049	0.988	1.048
16.438	0.193	0.197	0.063	0.972	1.032
16.507	0.218	0.189	0.060	0.906	1.031
16.575	0.207	0.224	0.042	0.981	1.012
16.644	0.202	0.241	0.035	0.935	1.021
16.712	0.199	0.212	0.047	0.917	1.025
16.781	0.166	0.201	0.060	0.862	1.007
16.849	0.181	0.202	0.063	0.851	1.015
16.918	0.192	0.213	0.060	0.823	1.001
16.986	0.190	0.206	0.049	0.952	1.005
17.055	0.160	0.233	0.055	1.044	0.986
17.123	0.174	0.224	0.054	1.020	1.013
17.192	0.176	0.218	0.066	0.980	1.025
17.260	0.194	0.218	0.044	0.926	1.025
17.329	0.205	0.203	0.041	0.843	1.022
17.397	0.181	0.177	0.043	0.963	0.994
17.466	0.194	0.209	0.046	0.977	0.970
17.534	0.205	0.245	0.045	1.014	0.966
17.603	0.203	0.200	0.038	1.001	1.024
17.671	0.169	0.211	0.042	1.120	1.027
17.740	0.168	0.227	0.048	1.090	0.984
17.808	0.161	0.220	0.048	1.117	0.966
17.877	0.166	0.174	0.040	1.042	0.975
17.945	0.200	0.232	0.044	0.915	0.999
18.014	0.202	0.265	0.064	0.829	1.005
18.082	0.156	0.254	0.063	0.869	1.057
18.151	0.126	0.217	0.057	0.983	1.051
18.219	0.144	0.211	0.049	1.071	1.047
18.288	0.172	0.230	0.059	0.980	1.034
18.356	0.149	0.223	0.056	0.919	0.999
18.425	0.148	0.220	0.047	0.957	0.949
18.493	0.158	0.235	0.041	1.014	0.957
18.562	0.193	0.229	0.044	0.988	0.988
18.630	0.170	0.242	0.035	1.012	1.003
18.699	0.179	0.228	0.038	0.985	0.930
18.767	0.181	0.249	0.054	0.971	0.933
18.836	0.221	0.207	0.069	1.018	0.967
18.904	0.191	0.231	0.062	1.049	0.977
18.973	0.183	0.219	0.053	1.013	0.961
19.041	0.194	0.218	0.056	0.952	0.973
19.110	0.234	0.207	0.063	0.915	1.015
19.178	0.207	0.239	0.061	0.915	0.969
19.247	0.185	0.248	0.058	1.011	0.982
19.315	0.155	0.249	0.049	0.997	0.974
19.384	0.193	0.226	0.047	0.905	0.949
19.452	0.182	0.207	0.046	0.825	0.956
19.521	0.189	0.219	0.050	0.812	0.984
19.589	0.171	0.242	0.043	0.851	0.965
19.658	0.209	0.239	0.049	0.899	0.907
19.726	0.217	0.198	0.071	1.016	0.862
19.795	0.210	0.198	0.075	1.060	0.881
19.863	0.185	0.227	0.079	1.053	0.907
19.932	0.165	0.253	0.069	0.907	0.947
20.000	0.139	0.262	0.077	0.853	0.883
20.068	0.171	0.256	0.060	1.002	0.907
20.137	0.176	0.250	0.059	1.091	0.895
20.205	0.203	0.256	0.071	1.098	0.887
20.274	0.198	0.290	0.085	1.029	0.829
20.342	0.194	0.317	0.083	1.028	0.867
20.411	0.191	0.347	0.093	0.984	0.869
20.479	0.212	0.400	0.114	0.978	0.839
20.548	0.211	0.392	0.104	1.013	0.780
20.616	0.156	0.381	0.086	1.028	0.777
20.685	0.130	0.395	0.087	1.009	0.758
20.753	0.152	0.430	0.086	0.961	0.739
20.822	0.175	0.428	0.094	1.028	0.688
20.890	0.173	0.423	0.092	1.050	0.689
20.959	0.162	0.437	0.096	1.062	0.647
21.027	0.144	0.448	0.119	1.013	0.609
21.096	0.140	0.514	0.134	0.905	0.531
21.164	0.149	0.520	0.124	0.853	0.494
21.233	0.180	0.606	0.122	0.883	0.475
21.301	0.166	0.657	0.160	0.884	0.461
21.370	0.147	0.753	0.151	0.912	0.425
21.438	0.143	0.777	0.141	0.960	0.407
21.507	0.147	0.799	0.161	1.037	0.421
21.575	0.135	0.818	0.196	0.967	0.423
21.644	0.134	0.808	0.201	0.951	0.405
21.712	0.117	0.816	0.218	0.852	0.393
21.781	0.115	0.865	0.266	0.869	0.382
21.849	0.120	0.932	0.269	0.858	0.379
21.918	0.145	0.916	0.262	0.979	0.369
21.986	0.139	0.928	0.234	1.041	0.357
22.055	0.132	0.880	0.297	0.955	0.316
22.123	0.125	0.860	0.318	0.809	0.307
22.192	0.115	0.842	0.340	0.778	0.307
22.260	0.125	0.945	0.325	0.755	0.287
22.329	0.117	0.931	0.389	0.760	0.279
22.397	0.119	0.912	0.406	0.795	0.275
22.466	0.110	0.898	0.409	0.751	0.277
22.534	0.116	0.941	0.421	0.637	0.248
22.603	0.085	0.944	0.434	0.616	0.255
22.671	0.084	0.984	0.411	0.603	0.233
22.740	0.120	0.972	0.391	0.599	0.212
22.808	0.150	0.940	0.478	0.590	0.183
22.877	0.124	0.858	0.543	0.561	0.180
22.945	0.091	0.909	0.577	0.506	0.180
23.014	0.080	0.939	0.578	0.535	0.178
23.082	0.106	0.931	0.621	0.558	0.182
23.151	0.119	0.961	0.634	0.516	0.157
23.219	0.124	0.985	0.694	0.457	0.139
23.288	0.111	1.014	0.778	0.446	0.133
23.356	0.099	0.999	0.789	0.416	0.138
23.425	0.083	1.060	0.718	0.419	0.127
23.493	0.080	1.037	0.723	0.448	0.112
23.562	0.093	0.998	0.770	0.478	0.103
23.630	0.094	0.969	0.801	0.417	0.097
23.699	0.090	0.932	0.798	0.374	0.096
23.767	0.080	0.990	0.852	0.347	0.088
23.836	0.093	1.024	0.883	0.331	0.076
23.904	0.103	1.042	0.870	0.326	0.063
23.973	0.102	0.922	0.867	0.308	0.059
24.041	0.083	0.932	0.900	0.272	0.063
24.110	0.081	0.995	0.931	0.273	0.058
24.178	0.081	1.032	0.959	0.301	0.060
24.247	0.099	0.947	0.932	0.283	0.057
24.315	0.099	0.858	0.923	0.219	0.056
24.384	0.105	0.912	0.861	0.193	0.037
24.452	0.082	1.026	0.848	0.161	0.038
24.521	0.068	1.083	0.928	0.166	0.041
24.589	0.042	1.095	0.992	0.162	0.043
24.658	0.054	1.000	0.994	0.180	0.033
24.726	0.058	1.006	0.957	0.145	0.024
24.795	0.110	0.974	1.019	0.134	0.021
24.863	0.132	0.960	1.056	0.100	0.022
24.932	0.130	0.858	1.012	0.120	0.022
25.000	0.088	0.908	1.003	0.115	0.022
25.068	0.089	1.033	1.001	0.099	0.022
25.137	0.076	1.069	1.025	0.046	0.023
25.205	0.060	1.013	1.001	0.071	0.018
25.274	0.082	0.955	1.014	0.082	0.017
25.342	0.098	0.919	1.059	0.077	0.015
25.411	0.101	0.863	1.038	0.063	0.015
25.479	0.098	0.874	0.990	0.073	0.010
25.548	0.100	0.922	0.900	0.070	0.011
25.616	0.104	0.859	0.963	0.059	0.011
25.685	0.102	0.853	0.996	0.062	0.011
25.753	0.105	0.892	1.000	0.052	0.011
25.822	0.085	0.943	0.930	0.039	0.012
25.890	0.082	0.833	0.880	0.033	0.007
25.959	0.081	0.844	0.808	0.029	0.007
26.027	0.070	0.854	0.874	0.045	0.004
26.096	0.049	0.862	0.939	0.045	0.003
26.164	0.075	0.806	0.885	0.054	0.003
26.233	0.125	0.794	0.762	0.039	0.005
26.301	0.143	0.748	0.772	0.026	0.003
26.370	0.096	0.700	0.772	0.005	0.003
26.438	0.047	0.650	0.733	0.023	0.005
26.507	0.056	0.635	0.685	0.031	0.004
26.575	0.078	0.606	0.680	0.036	0.001
26.644	0.095	0.603	0.657	0.031	0.000
26.712	0.092	0.568	0.601	0.039	0.000
26.781	0.099	0.542	0.562	0.028	0.000
26.849	0.084	0.500	0.541	0.024	0.000
26.918	0.079	0.458	0.510	0.029	0.001
26.986	0.092	0.433	0.465	0.036	0.004
27.055	0.120	0.398	0.392	0.024	0.004
27.123	0.113	0.369	0.348	0.012	0.007
27.192	0.094	0.339	0.319	0.017	0.008
27.260	0.080	0.309	0.271	0.031	0.008
27.329	0.092	0.282	0.225	0.036	0.007
27.397	0.073	0.272	0.212	0.020	0.004
27.466	0.075	0.275	0.211	0.028	0.004
27.534	0.083	0.236	0.200	0.042	0.001
27.603	0.087	0.212	0.180	0.040	0.000
27.671	0.083	0.198	0.141	0.014	0.001
27.740	0.095	0.209	0.105	0.016	0.003
27.808	0.108	0.189	0.101	0.030	0.009
27.877	0.108	0.182	0.098	0.038	0.009
27.945	0.108	0.145	0.082	0.038	0.003
28.014	0.095	0.119	0.081	0.029	0.001
28.082	0.087	0.113	0.067	0.020	0.001
28.151	0.071	0.135	0.059	0.024	0.004
28.219	0.062	0.124	0.057	0.028	0.005
28.288	0.078	0.102	0.056	0.019	0.003
28.356	0.095	0.096	0.040	0.010	0.002
28.425	0.087	0.114	0.038	0.012	0.009
28.493	0.072	0.129	0.039	0.010	0.009
28.562	0.091	0.136	0.048	0.020	0.002
28.630	0.109	0.124	0.036	0.023	0.002
28.699	0.103	0.110	0.026	0.020	0.009
28.767	0.079	0.107	0.014	0.010	0.009
28.836	0.059	0.112	0.023	0.012	0.003
28.904	0.063	0.114	0.030	0.013	0.001
28.973	0.067	0.104	0.022	0.008	0.000
29.041	0.068	0.114	0.021	0.005	0.000
29.110	0.064	0.113	0.021	0.012	0.000
29.178	0.062	0.105	0.019	0.019	0.000
29.247	0.073	0.100	0.009	0.017	0.000
29.315	0.087	0.101	0.011	0.007	0.000
29.384	0.079	0.100	0.012	0.006	0.001
29.452	0.057	0.084	0.008	0.009	0.003
29.521	0.062	0.087	0.002	0.009	0.009
29.589	0.080	0.097	0.001	0.005	0.009
29.658	0.077	0.119	0.013	0.012	0.003
29.726	0.074	0.110	0.014	0.019	0.001
29.795	0.078	0.094	0.010	0.016	0.000
29.863	0.075	0.085	0.007	0.011	0.000
29.932	0.063	0.107	0.009	0.013	0.000
30.000	0.054	0.117	0.002	0.008	0.000
30.068	0.059	0.119	0.003	0.006	0.001
30.137	0.069	0.110	0.005	0.008	0.004
30.205	0.075	0.106	0.007	0.013	0.005
30.274	0.072	0.095	0.007	0.012	0.004
30.342	0.069	0.105	0.012	0.013	0.001
30.411	0.059	0.107	0.010	0.009	0.000
30.479	0.063	0.121	0.016	0.003	0.000
30.548	0.059	0.110	0.013	0.000	0.000
30.616	0.053	0.084	0.004	0.001	0.000

Si/SiO2(100 nm)/SiOx(5 nm)/Py(9 nm)/SiOx(5 nm) (Fig. 4f)

Pos.(nm) Si-KA	O-K	Fe-KA	Ni-KA
0.000	1.000	0.882	0.003	0.000
0.068	1.014	0.881	0.004	0.000
0.137	0.998	0.891	0.004	0.000
0.205	0.938	0.947	0.001	0.000
0.274	0.975	0.897	0.000	0.000
0.342	0.913	0.854	0.000	0.000
0.411	0.960	0.910	0.000	0.000
0.479	0.973	0.993	0.000	0.000
0.548	0.994	0.988	0.000	0.000
0.616	0.979	0.878	0.000	0.000
0.685	0.945	0.892	0.000	0.000
0.753	0.975	0.931	0.000	0.000
0.822	0.910	0.886	0.000	0.000
0.890	0.959	0.894	0.000	0.000
0.959	0.975	0.956	0.000	0.000
1.027	1.055	1.001	0.001	0.000
1.096	1.026	0.982	0.004	0.000
1.164	1.031	0.940	0.004	0.000
1.233	0.907	0.921	0.012	0.000
1.301	0.879	0.870	0.010	0.000
1.370	0.920	0.879	0.012	0.000
1.438	1.036	0.830	0.004	0.000
1.507	0.953	0.860	0.003	0.000
1.575	0.881	0.835	0.003	0.000
1.644	0.903	0.882	0.006	0.000
1.712	0.893	0.922	0.004	0.000
1.781	0.902	0.949	0.001	0.000
1.849	0.903	0.914	0.000	0.000
1.918	0.929	0.867	0.000	0.000
1.986	0.944	0.941	0.001	0.000
2.055	0.941	0.913	0.004	0.000
2.123	0.883	0.918	0.006	0.000
2.192	0.890	0.886	0.004	0.000
2.260	0.998	0.962	0.001	0.000
2.329	0.982	0.917	0.001	0.000
2.397	0.916	0.911	0.004	0.000
2.466	0.826	0.874	0.006	0.000
2.534	0.875	0.899	0.003	0.000
2.603	0.919	0.891	0.002	0.000
2.671	1.028	0.914	0.010	0.000
2.740	1.029	0.928	0.010	0.000
2.808	1.083	0.966	0.003	0.000
2.877	1.038	0.976	0.001	0.000
2.945	0.956	0.957	0.000	0.000
3.014	0.908	0.922	0.000	0.000
3.082	0.924	0.868	0.001	0.000
3.151	0.978	0.891	0.004	0.000
3.219	0.931	0.875	0.005	0.000
3.288	0.929	0.859	0.008	0.000
3.356	0.891	0.837	0.005	0.000
3.425	0.945	0.902	0.004	0.000
3.493	0.911	0.938	0.001	0.000
3.562	0.950	0.944	0.000	0.000
3.630	0.913	0.927	0.000	0.000
3.699	0.964	0.949	0.000	0.000
3.767	0.983	0.952	0.000	0.000
3.836	0.966	0.877	0.000	0.000
3.904	0.974	0.814	0.000	0.000
3.973	1.034	0.877	0.001	0.000
4.041	1.070	0.883	0.003	0.000
4.110	0.951	0.872	0.010	0.000
4.178	0.946	0.852	0.010	0.000
4.247	1.005	0.880	0.003	0.000
4.315	1.062	0.879	0.002	0.000
4.384	1.018	0.905	0.004	0.000
4.452	1.018	0.900	0.005	0.000
4.521	1.006	0.866	0.007	0.000
4.589	0.993	0.896	0.009	0.000
4.658	0.928	0.938	0.010	0.000
4.726	0.941	0.924	0.003	0.000
4.795	1.001	0.923	0.001	0.000
4.863	1.012	0.907	0.000	0.000
4.932	1.092	0.938	0.001	0.000
5.000	1.076	0.927	0.004	0.000
5.068	0.992	0.928	0.005	0.000
5.137	0.937	0.899	0.008	0.000
5.205	1.014	0.991	0.005	0.000
5.274	0.959	1.081	0.003	0.000
5.342	0.919	1.093	0.002	-0.001
5.411	0.922	1.001	0.010	0.004
5.479	0.950	0.976	0.010	0.005
5.548	0.922	0.956	0.002	0.004
5.616	0.999	0.931	0.002	-0.001
5.685	1.029	0.916	0.010	0.000
5.753	1.023	0.928	0.010	0.000
5.822	1.002	0.925	0.003	0.000
5.890	0.981	0.911	0.001	0.001
5.959	0.998	0.921	0.000	0.004
6.027	1.022	0.920	0.000	0.005
6.096	1.008	0.925	0.001	0.004
6.164	0.960	0.945	0.003	0.001
6.233	0.975	0.987	0.010	0.000
6.301	1.008	1.016	0.010	0.000
6.370	0.971	1.035	0.003	0.000
6.438	1.042	0.969	0.001	0.000
6.507	1.035	0.960	0.000	0.000
6.575	1.031	0.968	0.000	0.000
6.644	0.910	1.003	0.001	0.001
6.712	0.921	1.050	0.004	0.004
6.781	0.852	1.080	0.006	0.005
6.849	1.008	1.012	0.004	0.004
6.918	1.116	0.925	0.002	0.001
6.986	1.109	0.944	0.004	0.000
7.055	0.972	0.987	0.006	0.000
7.123	0.970	0.971	0.002	0.000
7.192	1.001	0.949	0.006	0.000
7.260	1.018	0.988	0.016	0.001
7.329	0.993	1.000	0.013	0.004
7.397	1.038	0.980	0.005	0.005
7.466	1.034	0.907	0.009	0.004
7.534	0.982	0.955	0.010	0.001
7.603	0.923	0.913	0.002	0.000
7.671	0.977	0.961	0.002	0.000
7.740	1.034	0.997	0.009	0.000
7.808	0.992	0.990	0.013	0.000
7.877	1.035	0.908	0.013	0.000
7.945	1.051	0.952	0.009	0.000
8.014	1.016	0.966	0.002	0.001
8.082	0.927	0.947	0.002	0.004
8.151	0.951	0.939	0.010	0.005
8.219	0.934	1.041	0.010	0.004
8.288	0.970	0.989	0.002	0.001
8.356	0.952	1.101	0.002	0.000
8.425	0.959	1.022	0.009	0.001
8.493	0.891	1.016	0.014	0.004
8.562	1.005	0.945	0.009	0.005
8.630	0.959	1.020	0.002	0.004
8.699	0.978	0.943	0.003	0.001
8.767	0.901	0.931	0.006	0.001
8.836	0.924	0.998	0.004	0.004
8.904	0.934	1.093	0.001	0.005
8.973	0.968	1.063	0.001	0.004
9.041	0.950	0.990	0.003	0.001
9.110	0.994	0.962	0.009	0.001
9.178	1.056	0.974	0.013	0.004
9.247	1.074	0.965	0.012	0.004
9.315	1.050	0.945	0.011	0.006
9.384	1.060	0.957	0.017	0.010
9.452	1.007	1.008	0.012	0.021
9.521	0.954	1.046	0.017	0.023
9.589	0.930	1.062	0.018	0.022
9.658	0.872	1.019	0.043	0.022
9.726	0.962	0.986	0.035	0.026
9.795	0.993	1.013	0.033	0.026
9.863	1.003	1.018	0.028	0.032
9.932	0.990	1.038	0.028	0.037
10.000	1.152	1.001	0.032	0.051
10.068	1.104	1.054	0.037	0.048
10.137	1.080	0.977	0.050	0.058
10.205	1.076	0.988	0.060	0.062
10.274	1.166	0.967	0.071	0.085
10.342	1.140	1.022	0.068	0.101
10.411	1.125	0.957	0.098	0.109
10.479	1.101	0.952	0.124	0.116
10.548	1.127	0.848	0.126	0.130
10.616	1.162	0.772	0.139	0.161
10.685	1.137	0.782	0.182	0.177
10.753	1.116	0.883	0.214	0.200
10.822	1.097	0.838	0.258	0.224
10.890	1.099	0.756	0.315	0.274
10.959	1.121	0.794	0.361	0.294
11.027	1.113	0.818	0.384	0.318
11.096	1.121	0.748	0.409	0.362
11.164	1.035	0.665	0.401	0.400
11.233	0.960	0.624	0.459	0.414
11.301	0.891	0.558	0.518	0.437
11.370	0.883	0.521	0.617	0.492
11.438	0.851	0.592	0.600	0.531
11.507	0.826	0.599	0.659	0.569
11.575	0.838	0.538	0.659	0.581
11.644	0.800	0.516	0.692	0.642
11.712	0.764	0.511	0.693	0.684
11.781	0.672	0.471	0.751	0.718
11.849	0.577	0.441	0.749	0.717
11.918	0.583	0.500	0.777	0.735
11.986	0.588	0.451	0.816	0.785
12.055	0.584	0.425	0.865	0.843
12.123	0.585	0.410	0.867	0.855
12.192	0.561	0.414	0.877	0.848
12.260	0.471	0.388	0.833	0.866
12.329	0.411	0.378	0.753	0.922
12.397	0.408	0.356	0.714	0.932
12.466	0.353	0.347	0.773	0.924
12.534	0.337	0.390	0.823	0.913
12.603	0.350	0.405	0.837	0.931
12.671	0.334	0.412	0.862	0.955
12.740	0.290	0.438	0.902	0.948
12.808	0.293	0.470	0.909	0.934
12.877	0.302	0.434	0.896	0.947
12.945	0.280	0.371	0.937	0.974
13.014	0.223	0.362	0.946	1.012
13.082	0.251	0.366	0.929	1.001
13.151	0.283	0.403	0.870	1.019
13.219	0.285	0.443	0.919	1.013
13.288	0.226	0.431	0.979	1.015
13.356	0.225	0.360	1.026	1.013
13.425	0.214	0.359	1.011	1.012
13.493	0.194	0.414	0.967	0.998
13.562	0.184	0.437	0.943	1.020
13.630	0.183	0.408	1.003	1.061
13.699	0.204	0.413	1.110	1.049
13.767	0.230	0.410	1.058	0.997
13.836	0.260	0.432	1.040	1.012
13.904	0.225	0.440	0.928	1.021
13.973	0.207	0.426	0.950	1.049
14.041	0.229	0.404	0.928	1.049
14.110	0.220	0.431	0.982	1.007
14.178	0.184	0.419	0.931	0.970
14.247	0.138	0.404	0.903	0.966
14.315	0.187	0.379	0.849	0.993
14.384	0.196	0.407	0.964	1.026
14.452	0.235	0.418	1.060	1.046
14.521	0.179	0.451	1.022	1.025
14.589	0.194	0.456	0.963	0.995
14.658	0.178	0.448	1.014	1.039
14.726	0.225	0.414	0.989	1.008
14.795	0.198	0.359	0.860	1.000
14.863	0.208	0.398	0.854	0.986
14.932	0.200	0.421	0.952	0.990
15.000	0.195	0.437	0.917	1.008
15.068	0.201	0.400	0.909	0.994
15.137	0.206	0.424	0.881	0.987
15.205	0.223	0.387	0.895	0.981
15.274	0.211	0.444	0.879	1.084
15.342	0.194	0.455	0.926	1.058
15.411	0.174	0.449	0.972	1.026
15.479	0.171	0.358	1.024	1.041
15.548	0.170	0.353	1.084	1.046
15.616	0.176	0.400	0.969	1.030
15.685	0.173	0.410	0.878	1.003
15.753	0.173	0.412	0.931	1.038
15.822	0.190	0.425	0.994	1.025
15.890	0.196	0.431	1.021	1.047
15.959	0.145	0.386	1.015	1.022
16.027	0.135	0.405	1.007	0.983
16.096	0.175	0.421	0.921	0.995
16.164	0.193	0.415	0.920	1.004
16.233	0.193	0.360	0.971	1.004
16.301	0.195	0.349	1.055	0.982
16.370	0.201	0.392	1.002	1.002
16.438	0.200	0.462	1.021	1.006
16.507	0.199	0.410	1.023	1.003
16.575	0.173	0.347	0.984	1.000
16.644	0.148	0.406	0.912	1.019
16.712	0.135	0.421	0.995	1.013
16.781	0.162	0.357	1.144	1.000
16.849	0.192	0.297	1.108	0.986
16.918	0.185	0.358	1.016	1.014
16.986	0.156	0.386	0.913	1.034
17.055	0.188	0.426	0.999	1.027
17.123	0.216	0.443	1.012	1.011
17.192	0.200	0.484	1.033	0.982
17.260	0.162	0.481	0.965	0.965
17.329	0.178	0.443	0.988	0.969
17.397	0.199	0.380	0.977	0.993
17.466	0.202	0.370	1.005	0.997
17.534	0.187	0.393	1.036	0.955
17.603	0.156	0.387	1.031	0.904
17.671	0.183	0.391	0.968	0.928
17.740	0.177	0.449	0.914	0.971
17.808	0.185	0.489	0.995	1.005
17.877	0.165	0.458	1.014	0.957
17.945	0.194	0.388	0.965	0.983
18.014	0.193	0.358	0.910	0.967
18.082	0.174	0.428	0.983	1.016
18.151	0.166	0.425	1.072	1.010
18.219	0.164	0.410	1.036	1.030
18.288	0.177	0.343	1.047	0.998
18.356	0.183	0.436	1.003	0.997
18.425	0.194	0.454	1.058	0.995
18.493	0.197	0.448	1.016	1.021
18.562	0.178	0.375	1.018	1.000
18.630	0.156	0.384	0.957	0.981
18.699	0.169	0.397	0.953	0.964
18.767	0.224	0.419	1.021	0.999
18.836	0.239	0.415	1.032	1.010
18.904	0.213	0.412	1.065	1.013
18.973	0.198	0.453	0.977	1.004
19.041	0.200	0.444	0.944	1.026
19.110	0.236	0.434	0.995	1.019
19.178	0.239	0.391	1.041	0.988
19.247	0.235	0.410	0.986	0.962
19.315	0.170	0.389	0.956	0.965
19.384	0.176	0.398	1.001	0.965
19.452	0.162	0.378	1.010	0.963
19.521	0.187	0.335	0.986	0.908
19.589	0.195	0.388	0.959	0.854
19.658	0.226	0.423	0.921	0.851
19.726	0.251	0.427	0.895	0.871
19.795	0.279	0.345	0.895	0.887
19.863	0.279	0.390	0.898	0.899
19.932	0.265	0.390	0.910	0.878
20.000	0.302	0.384	0.976	0.802
20.068	0.340	0.426	0.962	0.776
20.137	0.328	0.470	0.944	0.799
20.205	0.327	0.486	0.930	0.793
20.274	0.319	0.460	0.924	0.748
20.342	0.295	0.474	0.922	0.704
20.411	0.280	0.461	0.879	0.673
20.479	0.345	0.546	0.873	0.637
20.548	0.372	0.611	0.825	0.622
20.616	0.450	0.605	0.827	0.604
20.685	0.529	0.596	0.766	0.571
20.753	0.542	0.671	0.732	0.513
20.822	0.506	0.788	0.734	0.472
20.890	0.513	0.774	0.746	0.475
20.959	0.629	0.772	0.718	0.460
21.027	0.693	0.792	0.744	0.416
21.096	0.734	0.831	0.737	0.355
21.164	0.716	0.831	0.647	0.328
21.233	0.780	0.888	0.536	0.294
21.301	0.814	0.891	0.561	0.258
21.370	0.831	0.821	0.600	0.218
21.438	0.854	0.876	0.526	0.205
21.507	0.947	0.961	0.429	0.193
21.575	0.905	1.046	0.368	0.163
21.644	0.829	0.975	0.295	0.120
21.712	0.823	0.995	0.231	0.097
21.781	0.961	0.980	0.203	0.085
21.849	1.066	0.968	0.198	0.082
21.918	1.059	0.905	0.148	0.059
21.986	1.001	0.943	0.104	0.048
22.055	0.952	1.001	0.096	0.046
22.123	1.048	1.013	0.099	0.048
22.192	1.001	1.012	0.078	0.032
22.260	0.960	0.983	0.050	0.028
22.329	0.934	1.041	0.053	0.028
22.397	1.019	1.034	0.060	0.023
22.466	1.003	0.977	0.066	0.013
22.534	0.996	0.935	0.068	0.010
22.603	0.983	1.013	0.045	0.011
22.671	0.973	1.082	0.026	0.011
22.740	0.961	1.086	0.022	0.012
22.808	1.016	1.029	0.026	0.008
22.877	1.065	0.963	0.026	0.003
22.945	1.106	0.944	0.027	0.001
23.014	1.075	0.988	0.023	0.001
23.082	1.018	0.915	0.004	0.003
23.151	0.973	0.872	0.001	0.009
23.219	0.942	0.882	0.009	0.009
23.288	0.975	0.946	0.014	0.003
23.356	0.944	0.931	0.007	0.001
23.425	0.940	0.964	0.011	0.000
23.493	0.966	0.928	0.011	0.000
23.562	1.013	0.926	0.007	0.001
23.630	0.987	0.939	0.002	0.004
23.699	0.905	0.992	0.006	0.005
23.767	0.953	0.920	0.003	0.004
23.836	0.969	0.910	0.002	0.002
23.904	1.010	0.945	0.009	0.004
23.973	1.011	1.020	0.013	0.005
24.041	0.975	1.043	0.013	0.004
24.110	0.895	0.945	0.009	0.001
24.178	0.897	0.850	0.003	0.000
24.247	0.914	0.909	0.002	0.000
24.315	0.890	0.995	0.004	0.001
24.384	0.877	1.009	0.006	0.004
24.452	0.885	0.963	0.004	0.004
24.521	0.895	0.892	0.001	0.008
24.589	0.918	0.842	0.000	0.004
24.658	0.909	0.867	0.001	0.004
24.726	0.911	0.944	0.004	0.001
24.795	0.945	0.956	0.005	0.000
24.863	1.019	0.891	0.008	0.000
24.932	1.007	0.924	0.004	0.000
25.000	1.056	0.991	0.007	0.000
25.068	1.032	0.990	0.009	0.000
25.137	0.966	0.876	0.008	0.000
25.205	0.876	0.874	0.011	0.000
25.274	0.851	0.927	0.010	0.000
25.342	0.863	0.892	0.011	0.000
25.411	0.972	0.896	0.008	0.000
25.479	1.034	0.836	0.009	0.001
25.548	0.946	0.844	0.007	0.004
25.616	0.925	0.877	0.004	0.005
25.685	1.017	0.904	0.007	0.004
25.753	0.999	0.914	0.008	0.001
25.822	0.870	0.862	0.013	0.000
25.890	0.860	0.799	0.013	0.000
25.959	0.893	0.671	0.008	0.000
26.027	0.855	0.715	0.006	0.000
26.096	0.845	0.730	0.008	0.000
26.164	0.856	0.686	0.012	0.000
26.233	0.878	0.687	0.017	0.000
26.301	0.801	0.677	0.015	0.001
26.370	0.740	0.648	0.005	0.004
26.438	0.675	0.572	0.005	0.005
26.507	0.733	0.551	0.015	0.004
26.575	0.785	0.523	0.018	0.001
26.644	0.738	0.582	0.008	0.000
26.712	0.635	0.614	0.003	0.000
26.781	0.531	0.550	0.001	0.001
26.849	0.533	0.486	0.001	0.003
26.918	0.550	0.446	0.003	0.009
26.986	0.535	0.375	0.009	0.009
27.055	0.431	0.329	0.014	0.003
27.123	0.358	0.351	0.008	0.001
27.192	0.371	0.395	0.006	0.000
27.260	0.352	0.325	0.007	0.000
27.329	0.319	0.263	0.018	0.000
27.397	0.266	0.215	0.013	0.000
27.466	0.277	0.241	0.014	0.000
27.534	0.261	0.230	0.013	0.000
27.603	0.240	0.222	0.016	0.001
27.671	0.204	0.191	0.016	0.004
27.740	0.161	0.154	0.014	0.005
27.808	0.141	0.149	0.008	0.003
27.877	0.130	0.158	0.016	0.002
27.945	0.128	0.159	0.020	0.009
28.014	0.108	0.143	0.014	0.009
28.082	0.109	0.126	0.006	0.002
28.151	0.101	0.128	0.014	0.003
28.219	0.080	0.140	0.008	0.005
28.288	0.079	0.172	0.007	0.004
28.356	0.057	0.135	0.004	0.001
28.425	0.057	0.128	0.008	0.000
28.493	0.067	0.126	0.004	0.000
28.562	0.105	0.137	0.007	0.001
28.630	0.107	0.129	0.009	0.004
28.699	0.103	0.137	0.009	0.005
28.767	0.074	0.125	0.006	0.003
28.836	0.076	0.129	0.007	0.003
28.904	0.087	0.137	0.018	0.005
28.973	0.095	0.116	0.014	0.004
29.041	0.075	0.084	0.011	0.001
29.110	0.075	0.095	0.003	0.000
29.178	0.063	0.126	0.007	0.000
29.247	0.072	0.124	0.009	0.000
29.315	0.073	0.111	0.010	0.001
29.384	0.082	0.109	0.001	0.004
29.452	0.057	0.122	0.006	0.005
29.521	0.051	0.099	0.016	0.004
29.589	0.042	0.083	0.013	0.001
29.658	0.054	0.084	0.006	0.000
29.726	0.057	0.108	0.003	0.000
29.795	0.067	0.092	0.011	0.000
29.863	0.070	0.106	0.015	0.000
29.932	0.060	0.124	0.014	0.000
30.000	0.039	0.123	0.002	0.000
30.068	0.046	0.081	0.002	0.000
30.137	0.060	0.083	0.004	0.000
30.205	0.072	0.086	0.006	0.000
30.274	0.067	0.109	0.003	0.000
30.342	0.069	0.117	0.003	0.001
30.411	0.050	0.126	0.005	0.004
30.479	0.036	0.091	0.008	0.005
30.548	0.037	0.081	0.006	0.004
30.616	0.048	0.084	0.001	0.001