2026-07-11T20:40:14Z
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2024-08-12T09:22:07Z
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3.1
HZDR.RODARE
10.14278/rodare.3016
Steuer, Oliver
Michailow, Michail
Institute of Semiconductor Electronics, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 52074 Aachen, Germany
Hübner, René
0000-0002-5200-6928
Pyszniak, Krzysztof
Institute of Physics, Maria Curie-Sklodowska University in Lublin, M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland
Turek, Marcin
Institute of Physics, Maria Curie-Sklodowska University in Lublin, M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland
Kentsch, Ulrich
Ganss, Fabian
Khan, Muhammad Moazzam
Rebohle, Lars
0000-0002-8066-6392
Zhou, Shengqiang
0000-0002-4885-799X
Knoch, Joachim
Institute of Semiconductor Electronics, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 52074 Aachen, Germany
Helm, Manfred
Cuniberti, Gianaurelio
Institute of Materials Science and Max Bergmann Center, Technische Universität Dresden, 01069 Dresden, Germany
Georgiev, Yordan
0000-0002-3146-8031
Prucnal, Slawomir
0000-0002-4088-6032
Si1-x-yGeySnx alloy formation by Sn ion implantation and flash lamp annealing
Rodare
2024
Implantation
SiGeSn
Si1-x-yGeySnx
Sn
FLA
Flash lamp annealing
2024-06-12
https://rodare.hzdr.de/record/3016
10.17815/jlsrf-3-159
https://www.hzdr.de/publications/Publ-39199
https://www.hzdr.de/publications/Publ-39097
10.14278/rodare.3015
https://rodare.hzdr.de/communities/fwi
https://rodare.hzdr.de/communities/ibc
https://rodare.hzdr.de/communities/rodare
Closed Access
<p>Bei diesem Datensatz handelt es sich um die im Paper beschriebenen µRaman, RBS und TEM Daten sowie die SRIM Simulationen</p>